• Camera pulita classe 10.000 ad atmosfera controllata
  - Area di 42m2
  - Dotata di “pass-box” per il trasferimento di materiale e campioni
  - Fotolitografia a scansione  di fascio laser UV focalizzato
• Camere per il processamento termico di materiali in atmosfera controllata
• Deposizione di film metallici
• Probe station per la caratterizzazione elettrica di materiali e dispositivi in temperatura e atmosfera controllata
• Laser impulsato di potenza ND-YAG focalizzato con stage motorizzato
  - Emissione nell’infrarosso (1064nm), visibile (532nm) o ultravioletto (355nm)
  - Visibile (532nm) o UV (355nm)
  - Durata impulsi 6ns
  - Massima energia per impulso 0.6 mJ (potenza corrispondente: 100 kW
• Microscopio confocale a fotoluminescenza con sorgenti Laser
  - Lunghezze d’onda di eccitazione: 515 e 635 nm
  - Rivelatori a fotodiodo sensibili al singolo fotone
• Criostato a ricircolo di elio liquido per misure ottiche a bassa temperatura
• Spettroscopio fotoelettronico a raggi X (XPS) a doppio anodo con monocromatore e cannone ionico per preparativa campioni
• Criostati a elio e azoto liquido
• Microscopio elettronico a scansione
• Impiantatore ionico multielementale – 100keV (in corso di acquisizione)
• Sorgente X microfocus ad alta brillanza 
• Infrastruttura per imaging con raggi-X (radiografie e tomografie) ed irraggiamenti di materiali
• Spettrometro per la caratterizzazione della riflettanza dei materiali (FORS)
• Apparati per misure di termoluminescenza

Attrezzatura acquisita anche con il contributo di MIUR, Accademia Nazionale dei Lincei, Compagnia di San Paolo, Unione Europea, Istituto Nazionale di Fisica Nucleare, Regione Piemonte.